該設備在各行各業(yè)已經廣泛應用，
等離子清洗機設備原理并不復雜，但是一套完整的等離子系統(tǒng)包含很多方面。它的原理是兩個電極之間形成高頻交變電場，用真空泵在裝置的密閉容器中實現(xiàn)一定的真空度隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長，區(qū)域內氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體。在真空和瞬時高溫狀態(tài)下，活性等離子對孔壁內鉆污、殘膠及油污等污染物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，污染物部分蒸發(fā)或在高能量離子的沖擊下被擊碎，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態(tài)物質，經過抽真空排出，從而達到清洗目的。
設備在使用過程中，合理有效的進行設備維護，能夠減少設備的故障率，增加設備的使用壽命，同時能夠保證清洗達到生產的工藝標準。這在工業(yè)生產制造上，能起到很大的穩(wěn)定作用。
等離子清洗機的真空腔體保養(yǎng)：
等離子腔體清潔時產生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴重。對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，其次腔體導入N2和O2，用等離子體清除腔體內殘余物，工作10min。
在實際生產中，我們發(fā)現(xiàn)該清洗機一些重要的部件會隨著使用時間的推移產生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，會是引起該清洗機達不到清洗效果的原因，例如反應腔、電極、托板架、氣體的壓力等。
